Fluorid dusnatý (NF3) s vysokou čistotou
Základné informácie
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Čo je to za materiál?
Fluorid dusnatý (NF3) je pri izbovej teplote a atmosférickom tlaku bezfarebný plyn bez zápachu. Môže byť skvapalnený pod miernym tlakom. NF3 je za normálnych podmienok stabilný a nerozkladá sa ľahko. Pri vystavení vysokým teplotám alebo v prítomnosti určitých katalyzátorov sa však môže rozložiť. NF3 má vysoký potenciál globálneho otepľovania (GWP), keď sa uvoľní do atmosféry.
Kde použiť tento materiál?
Čistiaci prostriedok v elektronickom priemysle: NF3 je široko používaný ako čistiaci prostriedok na odstraňovanie zvyškových nečistôt, ako sú oxidy, z povrchov polovodičov, plazmových zobrazovacích panelov (PDP) a iných elektronických komponentov. Dokáže efektívne vyčistiť tieto povrchy bez toho, aby ich poškodil.
Leptací plyn pri výrobe polovodičov: NF3 sa používa ako leptací plyn vo výrobnom procese polovodičov. Je obzvlášť účinný pri leptaní oxidu kremičitého (SiO2) a nitridu kremíka (Si3N4), čo sú bežné materiály používané pri výrobe integrovaných obvodov.
Výroba vysoko čistých zlúčenín fluóru: NF3 je cenným zdrojom fluóru na výrobu rôznych zlúčenín obsahujúcich fluór. Používa sa ako prekurzor pri výrobe fluórovaných polymérov, fluórovaných uhľovodíkov a špeciálnych chemikálií.
Generovanie plazmy pri výrobe plochých obrazoviek: NF3 sa používa spolu s inými plynmi na vytvorenie plazmy pri výrobe plochých obrazoviek, ako sú displeje s tekutými kryštálmi (LCD) a PDP. Plazma je nevyhnutná pri procesoch nanášania a leptania počas výroby panelov.
Upozorňujeme, že špecifické aplikácie a predpisy pre používanie tohto materiálu/produktu sa môžu líšiť v závislosti od krajiny, odvetvia a účelu. Vždy dodržujte bezpečnostné pokyny a pred použitím tohto materiálu/výrobku v akejkoľvek aplikácii sa poraďte s odborníkom.
